Filipenko, O. І.

• Том 2 № 42 (2017): Системи управління, навігації та зв’язку - Статті
  ТЕХНОЛОГІЧНІ ДЕФЕКТИ ВИРОБНИЦТВА КРЕМНІЄВИХ ПІДКЛАДОК ДЛЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВІДБИВАЮЧИХ ПОВЕРХОНЬ МОЕМС-ПЕРЕМИКАЧІВ
  Анотація  PDF