TECHNOLOGICAL DEFECTS OF SILICON SUB-FILM PRODUCTION FOR THE FUNCTIONAL REFLECTIVE SURFACES OF MOMES-SWITCHES
Keywords:
mikrooptoelektromehanichni components, optical switches, optical mirrors, technology, manufacturing technology, silicon, loss, curvature of the optical surfaces, technological defects, signal distortion, technological control
Abstract
In the article the main defects and how to minimize them, resulting in the production of silicon wafers, which are used as functional surfaces for reflecting MOEMS switches and directly affect the quality of mirrors and optical insertion loss of the optical system as a whole.Downloads
Download data is not yet available.
References
1. MEMS in Optical Networks [Electronic resource] Режим доступу: http://www.allaboutmems.com/memsapplications-optical.html. Title screen.
2. Невлюдов И.Ш., Палагин В.А., Чалая Е.А. «Технологиии микросистемной техники», НТЖ «Технология приборостоения». – Х., 2014. – № 3.
3. Невлюдов И.Ш., Палагин В.А., Чалая Е.А. «Технологиии микросистемной техники (часть II)», НТЖ «Технология приборостоения». – Х., 2015. №2.
4. Петерсен, К. Э. Кремний как механический материал [Текст]/ К.Э. Петерсен // ТИИЭИР. – Т. 70, № 5. – 1982. – С. 5-49.
5. Семенець, В. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології [Текст]/ В. В. Семенець, І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін / Харків «Комп. СМІТ», 2011. – 416 с.
6. Мікросистемна техніка та нанотехнології [Текст]: монографія/ І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін,/ Київ НАУ, 2017. – 528 с.
7. Чалая Е.А., Влияние поляризационных эффектов на характеристики оптических переключателей [Текст]: Матеріали Всеукраїнської науково-практичної Іnternet-конференції «Автоматизація та компютерно-інтегровані технології у виробництві та світі: стан, досягнення, перспективи розвитку», м. Черкаси., 2015. – С. 49 – 51.
8. Филипенко О.І., Чала О.О. Конструктивнотехнологічні фактори втрат в оптичних перемикачах на основі МОЕМS-компонентів, Міжнародна науковопрактична конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи», 10-16 березня 2014 року, Київ, Україна.
9. Чалая Е.А. Потери в оптических микрозеркалах [Текст]: Матеріали 19-го Міжнародного молодіжного форуму «Радіоелектроніка та молодь в ХХI сторіччі», Міжнародна конференція «Автоматизовані системи та компьтерезовані технології радіоелектронного приладобудування», Том 2, 20-22 квітня, 2015 року, Харків, Україна.
2. Невлюдов И.Ш., Палагин В.А., Чалая Е.А. «Технологиии микросистемной техники», НТЖ «Технология приборостоения». – Х., 2014. – № 3.
3. Невлюдов И.Ш., Палагин В.А., Чалая Е.А. «Технологиии микросистемной техники (часть II)», НТЖ «Технология приборостоения». – Х., 2015. №2.
4. Петерсен, К. Э. Кремний как механический материал [Текст]/ К.Э. Петерсен // ТИИЭИР. – Т. 70, № 5. – 1982. – С. 5-49.
5. Семенець, В. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології [Текст]/ В. В. Семенець, І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін / Харків «Комп. СМІТ», 2011. – 416 с.
6. Мікросистемна техніка та нанотехнології [Текст]: монографія/ І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін,/ Київ НАУ, 2017. – 528 с.
7. Чалая Е.А., Влияние поляризационных эффектов на характеристики оптических переключателей [Текст]: Матеріали Всеукраїнської науково-практичної Іnternet-конференції «Автоматизація та компютерно-інтегровані технології у виробництві та світі: стан, досягнення, перспективи розвитку», м. Черкаси., 2015. – С. 49 – 51.
8. Филипенко О.І., Чала О.О. Конструктивнотехнологічні фактори втрат в оптичних перемикачах на основі МОЕМS-компонентів, Міжнародна науковопрактична конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи», 10-16 березня 2014 року, Київ, Україна.
9. Чалая Е.А. Потери в оптических микрозеркалах [Текст]: Матеріали 19-го Міжнародного молодіжного форуму «Радіоелектроніка та молодь в ХХI сторіччі», Міжнародна конференція «Автоматизовані системи та компьтерезовані технології радіоелектронного приладобудування», Том 2, 20-22 квітня, 2015 року, Харків, Україна.
Published
2017-12-30
How to Cite
FilipenkoO.І. Technological defects of silicon sub-film production for the functional reflective surfaces of momes-switches / FilipenkoO.І., ChalaO.О., VideshynM.І. // Control, Navigation and Communication Systems. Academic Journal. – Poltava: PNTU, 2017. – VOL. 2 (42). – PP. 61-63. – Available at: https://journals.nupp.edu.ua/sunz/article/view/670 (Accessed: 03.07.2024).
Section
Articles
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
