ТЕХНОЛОГІЧНІ ДЕФЕКТИ ВИРОБНИЦТВА КРЕМНІЄВИХ ПІДКЛАДОК ДЛЯ ФУНКЦІОНАЛЬНИХ ВІДБИВАЮЧИХ ПОВЕРХОНЬ МОЕМС-ПЕРЕМИКАЧІВ
Ключові слова:
мікрооптоелектромеханічні компоненти, оптичні перемикачі, оптичні дзеркала, технології, технології виробництва, кремній, втрати, кривизна оптичних поверхонь, технологічні дефекти, спотворення сигналу, технологічний контрольАнотація
У статті розглянуто основні дефекти та способи їх мінімізації, що виникають під час виробництва кремнієвих підкладок, які використовуються у якості функціональних відбиваючих поверхонь для МОЕМСперемикачів та безпосередньо впливають на якість оптичних дзеркал та внесені втрати у оптичну систему в цілому.Завантаження
Посилання
MEMS in Optical Networks [Electronic resource] Режим доступу: http://www.allaboutmems.com/memsapplications-optical.html. Title screen.
Невлюдов И.Ш., Палагин В.А., Чалая Е.А. «Технологиии микросистемной техники», НТЖ «Технология приборостоения». – Х., 2014. – № 3.
Невлюдов И.Ш., Палагин В.А., Чалая Е.А. «Технологиии микросистемной техники (часть II)», НТЖ «Технология приборостоения». – Х., 2015. №2.
Петерсен, К. Э. Кремний как механический материал [Текст]/ К.Э. Петерсен // ТИИЭИР. – Т. 70, № 5. – 1982. – С. 5-49.
Семенець, В. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології [Текст]/ В. В. Семенець, І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін / Харків «Комп. СМІТ», 2011. – 416 с.
Мікросистемна техніка та нанотехнології [Текст]: монографія/ І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін,/ Київ НАУ, 2017. – 528 с.
Чалая Е.А., Влияние поляризационных эффектов на характеристики оптических переключателей [Текст]: Матеріали Всеукраїнської науково-практичної Іnternet-конференції «Автоматизація та компютерно-інтегровані технології у виробництві та світі: стан, досягнення, перспективи розвитку», м. Черкаси., 2015. – С. 49 – 51.
Филипенко О.І., Чала О.О. Конструктивнотехнологічні фактори втрат в оптичних перемикачах на основі МОЕМS-компонентів, Міжнародна науковопрактична конференція «Радіотехнічні поля, сигнали, апарати та системи», 10-16 березня 2014 року, Київ, Україна.
Чалая Е.А. Потери в оптических микрозеркалах [Текст]: Матеріали 19-го Міжнародного молодіжного форуму «Радіоелектроніка та молодь в ХХI сторіччі», Міжнародна конференція «Автоматизовані системи та компьтерезовані технології радіоелектронного приладобудування», Том 2, 20-22 квітня, 2015 року, Харків, Україна.
