Filipenko O, Chala O, Videshyn M. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь моемс-перемикачів. Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць [інтернет]. 30Груд2017 [цитується за 22Лис2024];2(42):61-3. Available from: https://journals.nupp.edu.ua/sunz/article/view/670