FilipenkoO.І., ChalaO.О., і VideshynM.І. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь моемс-перемикачів. Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць 2, no. 42 (Грудень 30, 2017): 61-63. дата звернення Листопад 22, 2024. https://journals.nupp.edu.ua/sunz/article/view/670.