Filipenko, O., O. Chala, і M. Videshyn. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь моемс-перемикачів. Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць, т. 2, вип. 42, ПНТУ, Dec. 2017, с. 61-63, https://journals.nupp.edu.ua/sunz/article/view/670.