[1]
O. Filipenko, O. Chala, і M. Videshyn, Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь моемс-перемикачів, Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць, т. 2, вип. 42, с. 61-63, Груд 2017.