Filipenko, O., Chala, O. і Videshyn, M. (2017) Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь моемс-перемикачів, Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць. Полтава: ПНТУ, 2(42), с. 61-63. Режим доступу: https://journals.nupp.edu.ua/sunz/article/view/670 (дата звернення: 3Липень2024).