FilipenkoO.І. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь моемс-перемикачів / FilipenkoO.І., ChalaO.О., VideshynM.І. // Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць. – Полтава: ПНТУ, 2017. – Т. 2 (42). – С. 61-63. – Режим доступу: https://journals.nupp.edu.ua/sunz/article/view/670 (дата звернення: 25.11.2024).