FILIPENKO, O.; CHALA, O.; VIDESHYN, M. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь моемс-перемикачів. Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць, v. 2, n. 42, p. 61-63, 30 dez. 2017.