Filipenko, O., Chala, O., & Videshyn, M. (2017). Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь моемс-перемикачів. Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць, 2(42), 61-63. запитано із https://journals.nupp.edu.ua/sunz/article/view/670