Filipenko, O.; Chala, O.; Videshyn, M. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь моемс-перемикачів. Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць 2017, 2, 61-63.