[1]
Filipenko, O., Chala, O. і Videshyn, M. 2017. Технологічні дефекти виробництва кремнієвих підкладок для функціональних відбиваючих поверхонь моемс-перемикачів. Системи управління, навігації та зв’язку. Збірник наукових праць. 2, 42 (Груд 2017), 61-63.